Controlador de espesor de película
Características técnicas:
1. Operación de pantalla táctil completa, simple y fácil de usar;
2.32Cada sistema de membrana, cada sistema de membrana50 / 100Recubrimiento automático de la capa;
3.12Entrada de señal de carretera/ 12Salida de la cantidad del interruptor del camino;
4. Modo de control totalmente automático, semiautomático y manualV;
5.Controlable2Una fuente, un conjunto de trabajo y otro conjunto de predisolución;
Parámetros técnicos
|
Controlador Cy - FDC - S |
Frecuencia cristalina |
6 MHz (cristal opcional de 2,5 m 3M 5m 9m) |
Modo de visualización |
5 "pantalla táctil de color + velocidad de visualización del tubo digital y espesor real |
Modo de operación |
Pantalla táctil |
Espesor final |
00 mu0000 9999999 |
Resolución de visualización de espesor |
1/s |
Resolución de visualización de velocidad |
0.1/s |
Número de capas de recubrimiento |
32 sistemas de membrana, 50 / 100 capas por sistema de membrana; |
Número de sondas |
A B |
Factor instrumental |
0,01 - 99,99 |
Visualización del tiempo |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
Pantalla de potencia |
0 a 99,9% |
Potencia de prefusión |
0 a 99% |
Potencia preenterrada |
0 a 99,9% |
Tiempo de prefusión / tiempo de prerecubrimiento |
0~99:99 m:s |
Tiempo de aislamiento de prefusión / tiempo de conservación de la temperatura preprocesada |
0~99:99 m:s |
Tasa de recubrimiento (tasa de configuración) |
0 a 999,9 S / s |
Almacenamiento de materiales |
257 + 10 tipos personalizados |
Comunicación |
RS232/RS485 |
Fuente de vapor controlable |
2, se puede trabajar un conjunto y otro conjunto de predisolución |
Control de salida |
± 10v / 5v / 2,5v |
I / interfaz |
Entrada de señal de 12 canales / salida de conmutación de 12 canales |
Número de crisoles controlables |
1 - 16 |
Pantalla recubierta |
Curva / valor de velocidad |
Número de giras de recubrimiento |
50 / 100 capas automáticas por película |
Tamaño del Gabinete |
480 × 280 × 89mm (gabinete 2u 19 ") |
Funciones especiales:
1, manual, semiautomático, automático3Varios modos de recubrimiento para satisfacer una variedad de configuraciones de máquinas de recubrimiento;
2Detener manualmente el recubrimiento: detener manualmente el recubrimiento durante el proceso de recubrimiento;
3Control manual: determinar los requisitos del proceso de recubrimiento inicial;
4¿, sistema de película de interrupción: si se encuentran problemas o fallas en el recubrimiento automático y semiautomático, se puede detener el recubrimiento y guardar automáticamente el Estado actual. después de la falla, ¿ se puede continuar el recubrimiento desde el sistema de película de interrupción?
5Cuando se recubre automáticamente o semiautomáticamente, si el cristal falla, se puede optar por terminar el recubrimiento, recubrir con el tiempo de potencia actual y cambiar el chip para continuar (sonda multichip);
6, dos fuentes se preclasifican al mismo tiempo: en el proceso actual de inicio del recubrimiento de la capa, se puede optar por la preclasificación simultánea de la primera2La capa se preclasifica para satisfacer las ocasiones en las que los requisitos de tiempo son apretados;
7Protección de contraseña: función de protección de contraseña de parámetros de película y película, protegiendo los parámetros del proceso de no ser modificados por personal no artesano;
8Registro de datos de recubrimiento: al recubrimiento automático o semiautomático, el sistema puede registrar el tiempo de formación de película y los parámetros de velocidad de espesor final de cada película.