El sistema Otl - pecvd - 1200pecvd consta de un horno de tubo de vacío otl1200, una cámara de vacío de cuarzo, una fuente de alimentación de radiofrecuencia, un sistema de suministro de gas gx, un sistema de bombeo y un sistema de medición de vacío.

Características principales:

1. convertir el gas en la Cámara de vacío de cuarzo en un Estado Ion a través de una fuente de alimentación de radiofrecuencia.

2. el pecvd requiere una temperatura más baja que el CVD ordinario para la deposición química en fase de vapor.

3. el tamaño del estrés de la película depositada se puede controlar a través de la frecuencia de la fuente de alimentación de radiofrecuencia.

4. el pecvd tiene una tasa de depósito químico de vapor más alta, buena uniformidad, alta consistencia y estabilidad que el CVD ordinario.

5. ampliamente utilizado en: crecimiento de varias películas delgadas, como: siox, sinx, sioxny y silicio estereotipado (a - si: h), etc.

El sistema Otl - pecvd - 1200 pecvd utiliza el cable de Resistencia kanthal sueco como elemento de calefacción, adopta una estructura de carcasa de doble capa y un instrumento de control de temperatura de programa de 30 secciones, desencadenante de cambio de fase y control de silicio controlable. el horno está hecho de material de fibra policristalina de alúmina. los dos extremos del tubo del horno están sellados con pestañas de acero inoxidable. las pestañas de acero inoxidable están equipadas con bocas de aire, válvulas y medidores de presión. el vacío puede alcanzar 10 - 3 Pa al vacío. tiene las ventajas de campo de temperatura equilibrado, baja temperatura superficial, velocidad de elevación rápida, ahorro de energía y precios preferenciales.

(3) equilibrio de resistencia y buen equilibrio de campo de temperatura

(4) elemento de calefacción: alambre de resistencia importado de kanthal a1, Suecia (el alambre de resistencia puede prometer una garantía de 2 años)

Cuando el circuito está sobrecorriente o con fugas eléctricas, la reunión vacía se desconecta automáticamente.

El horno está equipado con una interfaz de comunicación y un software que permite controlar directamente los parámetros del horno a través de una computadora y observar desde la computadora los valores de temperatura PV y SV y el funcionamiento del instrumento en el horno. la computadora dibujará la curva de aumento de temperatura real del horno en tiempo real y puede guardar los Datos de temperatura en cada momento, y puede ajustar el vacío en cualquier momento.

(2) tomar forma con tecnología japonesa.

(3) la distancia y el tono de los cables de resistencia en el horno se simulan de acuerdo con la mejor disposición técnica térmica de Japón y el campo de temperatura a través de software térmico.

(4) con un calentamiento de 4 semanas, el campo de temperatura es más equilibrado.

(todos los electrodomésticos importados certificados por ul)